導語：MEMS非接觸溫度傳感器是一種基于微機電系統（MEMS）技術制造的傳感器，能夠以非接觸的方式測量目標物體的溫度。與傳統的接觸式溫度傳感器相比，MEMS非接觸溫度傳感器具有快速測量、高精度、小尺寸等優勢。本文將解析MEMS非接觸溫度傳感器的工作原理和應用領域。

一、工作原理

1. 紅外熱輻射原理：MEMS非接觸溫度傳感器利用目標物體發射的紅外輻射來測量其溫度。目標物體溫度越高，發射的紅外輻射能量越大。傳感器通過感測紅外輻射的強度來反推目標物體的溫度。

2. 紅外加熱輻射原理：同時兼具紅外檢測和紅外輻射功能的MEMS非接觸溫度傳感器，在測溫過程中還能夠通過紅外激光瞄準目標對象，并對其進行加熱，提高溫度測量的準確性和穩定性。

二、應用領域

1. 工業自動化：MEMS非接觸溫度傳感器在工業自動化中的應用廣泛，可用于高溫爐窯、電子設備、汽車制造等領域的溫度監測。其快速響應、高精度的特點能夠提供有效的控制和保護功能。

2. 生物醫療：MEMS非接觸溫度傳感器可應用于醫療設備中，如體溫計、熱像儀等。由于其非接觸式測溫特點，能夠避免傳統接觸式溫度傳感器對人體皮膚產生不適的情況。

3. 環境監測：MEMS非接觸溫度傳感器可用于大氣溫度、地表溫度等環境參數的監測。其小尺寸、低功耗的特點使其適用于無人機、地面監測站等多種應用場景。

總結：MEMS非接觸溫度傳感器利用紅外熱輻射原理或紅外加熱輻射原理實現溫度測量。在工業自動化、生物醫療、環境監測等領域有著廣泛的應用。其快速響應、高精度、小尺寸等優勢使其成為溫度監測領域的重要技術手段。